手术室和超净车间，哪个更干净？

哇，芯片上面的线路好密，如果生产过程中掉进去一颗灰尘会怎么样呢？一颗灰尘都不行吗？

是的，一颗灰尘也不行。正是因为芯片上面的线路排列得特别密，假如生产过程中有一颗灰尘掉进去，就可能会影响整个线路，甚至使芯片失去最初设计的功能，所以芯片上面必须非常干净。

医院的手术室和集成电路的生产车间都是对清洁度要求很高的地方，你猜猜哪个更干净呢？

手术室——无菌室

手术室对清洁度要求非常高，为了防止感染，确保手术成功率，不但要求地面台面干净、人员穿着干净，手术时，还必须铺上无菌单、用无菌器械，甚至连空气都是极干净的。层流手术间采用空气洁净措施，将空气中的尘埃粒子过滤，使细菌没有载体传播，目的是有效预防和控制感染的发生。

芯片生产车间——不仅仅是无菌

环境中杂质对半导体的特性有着改变或破坏其性能的作用，所以，在芯片的生产过程中，不仅要求生产车间无菌，还必须无静电、无灰尘、无有害气体。

而进出车间的人怎么办呢？我们知道，人体及衣物的毛屑是一项主要粉尘来源，为此，人和物进出时，必须经过空气吹浴程序，先将表面粉尘去除。另外，必须严格要求进出人员穿戴无尘衣，除了眼睛，均需与外界隔绝接触（在次微米制程技术的工厂内，工作人员几乎穿戴得和航天员一样）。

你知道吗？

◎大多数芯片制造商的“ISO1级”无尘室都能做到几乎“零粉尘”。具体来说，在每立方米空气中，100到200纳米的颗粒不超过10个，且没有大于200纳米的颗粒。相比之下，一家干净的现代医院里，每立方米空气中含有粉尘颗粒约10000个，这差距可不是一點点。

◎洁净室用到的气源是氮气（98%），吹干晶圆的氮气甚至要求是99.8%以上的高纯氮！