EUV设备价格达1.2亿美元

谁能支持EUV光刻？

回答只有极少数几家公司，因为设备的价格再次上升。VLSICEODanHutcheson回答，每台1.25亿美元。在报告中，一年之前VLSI的总裁Risto Puhakka曾预测，设备的价格未来要按pixel像素来计算，当时大家认为这是不可能的，但是现在EUV的价格己经几乎得到证实。

在2003年时，Intel支持EUV，希望每台设备价格在2000万美元。当时的目标是试图用EUV来替代今日的193 nm浸入式光刻，如今己成泡影。

由于研发成本的上升，导致设备价格不断提升，所以EUV不断的推迟上市。据ASML报道，EUV alpha型每台要6000万美元。IMEC及Sematech都购买了首台alpha型设备。

随着EUV的进步，正如之前报道，ASML已经售出6台样机，取名NXE 3100，预计今年底发货，每台设备己提升至9000万美元。

按BarclayCapital的说法，ASML实际上己经收到下一代EUV设备10台的订单，取名为NXE3300，客户包括 Hynix、IMEC、Samsung、Toshiba 及 TSMC 等。应该承认即使是NXE3300仍不是真正量产的设备。

（来源：EE Times）