MFC在单晶炉上控制氩气流量的应用＊

田伟娜，王宏博

(沈阳鹭岛电子有限公司，沈阳 110006）

·应用技术·

MFC在单晶炉上控制氩气流量的应用＊

田伟娜，王宏博

(沈阳鹭岛电子有限公司，沈阳 110006）

目前单晶炉设备全自动控制技术日趋成熟。单晶硅炉拉晶生长过程中，炉体内的真空度稳定性是一个重要的环节。质量流量控制器MFC对于维持单晶炉内真空值起着极其重要的作用。

单晶硅炉;氩气;质量流量控制器;真空度

近年来，随着国内太阳能光伏市场的迅猛发展，单晶硅炉的产量也在直线上升。就光伏产业应用而言，目前国内单晶硅炉生产技术已较为成熟，全国有10余家设备厂商的产品供应国内市场。这些企业技术水平差距不大，各具特点，基本能够满足国内太阳能级硅单晶的生产需要，目前，国内单晶炉国产化率达到97%以上，有力地促进了我国乃至世界光伏产业的发展，并有个别厂家的单晶炉已批量出口进入了国际市场。

在直拉单晶生长过程中，炉体内的气体气流从顶部注入，及时地带走由于高温而产生出来的硅氧化物和杂质挥发物。因此，维持单晶炉体内真空值的稳定性，不受外界因素的影响，同时使保护气体有合理的气流走向，迅速带走杂质，已经成为目前半导体材料制造行业领域改进设备，提高成晶率的重要课题。

1 直拉硅单晶的生产工艺介绍

直拉法生产硅单晶工艺尽管种类繁多，但大体可分为:真空工艺、气氛工艺和减压拉晶工艺。真空工艺又分低真空工艺和高真空工艺。……