磁流变光整加工技术研究进展

陈逢军 尹韶辉 余剑武 徐志强

湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心，长沙，410082

磁流变光整加工技术研究进展

陈逢军 尹韶辉 余剑武 徐志强

湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心，长沙，410082

介绍了近年来磁流变光整加工（MRF）技术的研究状况及最新进展，对磁流变光整加工机理研究、加工机床与相关装置的开发、加工工艺试验研究、加工算法与模型研究、磁流变液流体开发与应用等五个方面进行了详细的综述与分析。最后探讨了磁流变光整加工中的关键技术与存在的问题，并对其发展趋势进行了展望。

磁流变光整加工（MRF）；磁流变液；光学制造；超精密加工

0 引言

磁流变液具有良好的力学性能，且易通过计算机进行控制，因而在航空航天、机电与汽车工程、土木工程、精密加工工程、医疗等领域得到广泛应用［1－2］。20世纪90年代初，美国 Rochester大学光学加工中心结合电磁学、流体力学、分析化学等理论将磁流变液应用到机械精密加工过程，提出了磁流变光整加工（magnetorheological finishing，MRF）技术，从而开辟了光学零部件或超精密模芯加工的新途径［3－6］。

与传统光学抛光技术相比较，MRF加工具有切入量非常小，加工表面洁净、无刮伤等特点，它是一种可控的、确定性的光整加工技术。由于光学零部件与超精密模具的需求量大，而采用MRF工艺能准确地加工出所需要的超精密部件，因而该技术的应用前景非常可观。

本文综述了近年来国内外磁流变光整加工技术的研究状况，探讨了其中的关键问题，展望了未来发展方向。……