同步辐射双晶单色器平行度测量方法研究

刘石磊 王 丽 徐中民 王纳秀

1 (中国科学院上海应用物理研究所 上海 201800)

2 (中国科学院研究生院 北京 100049)

双晶单色器(DCM)系同步辐射装置光束线输出高通量、高单色化光的核心部件，对受光表面的面形及两个晶面的平行度要求甚严。两个晶面平行，方可确保晶体单色器出射光与入射光的方向不变，还可通过双晶失谐方法抑制出射光中的高次谐波含量，故须精确测量以控制双晶晶面的平行度。

同步辐射晶体单色器晶体晶格衍射面与晶体表面的定位精度通常在3′左右，远大于晶体的达尔文宽度(数秒至十余秒)。目前采用的自准直仪法[1,2]，无法精确测定双晶晶面的平行度，仅能在大范围内(±3′)调节双晶晶面的相对位置，并用探测器测量单色X射线强度的方法表征晶格衍射面的平行度。此方法使光束线的调束具有不确定性，当双晶单色器的双晶晶面平行度大于晶体的达尔文宽度时，白光X射线通过晶体单色器后就不能得到单色X光，也难以确定输出光束的位置。因此，双晶晶面平行度，是离线衡量单色器性能好坏的重要参数。

上海光源光束线建设研制的双晶单色器，须进行晶面平行度的离线测量。针对自准直仪仅能测量角度的相对变化，不能直接测量双晶晶面绝对平行度的缺陷，本文提出用十字位相板改进光笔干涉仪法测量双晶单色器晶面平行度，并开展原理性实验，投角和滚角理论测量精度分别可达0.89″和1.79″，这为双晶单色器晶面平行度的调节提供了一种新的检测方法。……