利用光学外差技术同时测定透明板的折射率和厚度

邢进华

（常熟理工学院a.江苏省新功能材料重点实验室；b.物理与电子工程学院，江苏常熟 215500）

利用光学外差技术同时测定透明板的折射率和厚度

邢进华a,b

（常熟理工学院a.江苏省新功能材料重点实验室；b.物理与电子工程学院，江苏常熟 215500）

通过分析圆偏振外差光束分别经透明板反射和透射后的s光和p光的相位差改变，得到了它们与透明板折射率和厚度的关系.利用改进的M-Z干涉仪设计和构建了能同时测定透明板的折射率和厚度的实验装置，通过测量从透明板反射的圆偏振外差光束的s光和p光的相位差，将测量数据代入理论上导出的特定方程，可以计算出被测透明板的折射率.同时，透明板又在改进的M-Z干涉仪的测量臂中，由波长偏移和光通过透明板引起s光和p光的相位差改变.由透明板折射率的测量值、相位差改变和波长偏移的特定值可得到透明板的厚度.从而实现在同一光学构造下完成对透明板的折射率和厚度的同时测量.

透明板；折射率；厚度；外差干涉技术；相位差

透明板被广泛应用于光电子和半导体产业中，尤其在设计和制造光学元件和光电子器件中，透明板的折射率和厚度是两个重要的光学参数.常见的测量透明薄板折射率的方法可以分成透射型的激光干涉法[1，2]和反射型的布儒斯特角法[3，4]，由于它们都和测量强度变化有关，光源的稳定性、散射光、内反射等因素都会影响测量精度.另一方面，激光干涉法往……