物理分离方法在硅片切割废液回用中的应用

季 晴，王建国

1.无锡机电高等职业技术学校，江苏 无锡 214028

2.江西新余汇能科技有限公司，江西 新余 336500

1 硅片切割废液成份分析

集成电路用基板、太阳能电池用基板薄片状产品切割制备，采用多线切割原理，用钢丝带动由碳化硅磨料构成砂浆对高纯度单晶硅或多晶硅棒进行切割。太阳能硅片切割液废砂浆（以下简称废砂浆）是硅片切割必然产物，是有多种物质组成的混合物，其组成为：聚乙二醇35%；碳化硅微粉33%；单晶硅微粉9%；水5%和组成切割液其它物质15%；有机胶粒；二氧化硅；金属及金属离子；破碎碳化硅微粉（色素和有机胶粒以及金属及金属离子和破碎碳化硅微粉3%）。

2 硅片切割废液回用价值分析

单晶硅主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。每吨废砂浆中含有8%～9%（重量）高纯硅，也就是含有80kg～90kg单晶硅，目前单晶硅市场价格为50万元/t，因此，废砂浆中单晶硅价值为4万元～4.5万元。

聚乙二醇可用作环氧树脂和聚乙烯醇的增韧剂。每吨废砂浆中含有35%聚乙二醇，也就含有350kg聚乙二醇，目前市场价为1.3万元/t。因此，废砂浆中聚乙二醇价值为0.4550万元。

碳化硅主要用于制作砂轮、砂纸、砂带、油石、磨块、磨头、研磨膏及光伏产品中单晶硅、多晶硅和电子行业的压电晶体等方面的研磨、抛光等。也可用做炼钢的脱氧剂和铸铁组织的改良剂，或者可用做制造四氯化硅的原料，是硅树脂工业的主要原料。每吨废砂浆中含有33%碳化硅微粉，即330kg碳化硅，目前碳化硅市场价为1.5万元/t。……