空气洁净度测试中的若干问题

梁希文/广东省清远市质量计量监督检测所

0 引言

2001年11月29日，美国GSA正式宣布取消联邦标准FS209E，并由国际标准化组织制定的新标准ISO14644-1/2“洁净室及相关受控环境，第一部分：空气洁净度等级”和“洁净度及相关受控环境，第二部分：认证ISO14644-2相符性的测试和监测技术条件”所取代。而我国也在原国标的基础上推出新的国标GB50073-2001《洁净厂房设计规范》。

目前，我国正处于新老标准交替之时。另一方面，同一领域的标准，不同部门先后出台自己的行业标准。如果业内人员，尤其是新从业人员对洁净度测试技术认知不完善，很容易造成思想上的混乱，这对今后我国洁净技术的发展以及加强国际合作都是不利的。本文分析了空气洁净度测试中的三个关键环节，使对该项技术能有更深层次的理解。

1 最小采样量的由来

由于计数器的读数皆为正整数，在洁净度很高时，如果检测容量较小，测定次数很少，则测得的往往都是或绝大部分是“零”，这就不能反映真实的浓度场。因此，要求规定粒子计数器的最小检测容量，即落入这个检测容量中的尘粒多于零粒的可能性极大，也就是要达到在这样大的检测容量中基本排除出现零粒的可能性。

洁净室粒子依照泊松分布，由概率论可知其数学期望E （X）= λ，假设洁净室中粒子浓度为λ粒，进行一次检测时，单位检测容量中出现K粒的概率为

而出现零粒的概率为：

若要求出现零粒的概率≤5%（也就是说测量的置信度为95%），则λ = 3。也就是说只有当洁净室的某粒径的粒子浓度λ≥3时，才可以确保每次都能检测到该粒子，否则会出现所采样的单位容量中所含该粒径的粒子为零的情况。……