宽光谱监控法制作红外超宽带减反膜的研究

周言敏，李建芳，王 君，袁 勇，梅高国

（重庆电子工程职业学院 电子信息系，重庆401331）

宽光谱监控法制作红外超宽带减反膜的研究

周言敏，李建芳，王 君，袁 勇，梅高国

（重庆电子工程职业学院 电子信息系，重庆401331）

高科技光电仪器的不断发展要求仪器的光谱使用范围越来越宽，从而对光学元件的薄膜特性和精度提出了更高的要求，红外超宽带减反膜就是为适应这些需求而开发的一种膜系。宽光谱监控法是镀制高精度红外超宽带减反膜的最合适、最有效的方法之一，本文根据薄膜光学的基本方法，通过膜系设计、实际的制作过程和制作结果，充分证实了这一点。

薄膜光学；超宽带减反膜；宽光谱监控

1 引言

近年来,随着高科技光电仪器的不断更新，无论是民用、军用的光电仪器，还是普通数码产品都在不断提高其性能，光电仪器的光谱使用范围也越来越宽，使得光学产品对光学元件的光学特性的要求越来越高，特别是对光学薄膜的特性和精度要求。超宽带减反膜是光学薄膜中应用最多的膜系之一，高精度超宽带减反膜设计的核心是宽带的光谱特性,镀制的关键是膜层的准确性和重复性。本文以实例介绍红外超宽增透膜设计与制备。

2 膜层监控方式比较

对于超宽带减反膜只能采用非规整膜系进行设计，目前常用的监控方法有石英晶控、单波长监控以及宽光谱监控方法。由于石英晶控只能反映薄膜的几何厚度，所以对超宽带增透膜的镀制,最适合的监控方法是光学膜厚监控法,可以直接了解薄膜的光学特性。……