气体中微量氧分析测试方法综述①

郑江琳

(国家化学工业气体产品质量监督检验中心，福建福州 350025）

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气体中微量氧分析测试方法综述①

郑江琳

(国家化学工业气体产品质量监督检验中心，福建福州 350025）

概述了气体中各种微量氧分析测试方法的原理、适用场合及分析注意事项，并列举了工业产品生产许可证中气体产品相关检测标准规定的分析方法及检测限要求，为气体生产及气体分析工作者提供了技术参考。

微量氧分析;高纯气体;电子工业用气体;检测限

随着我国经济的快速发展，企业越来越关注产品的质量，在空分气体和工业气体生产和应用中，氧含量一直是一个重要的控制指标。这主要是由于氧气是一种化学活性较强的物质，是一种较强的氧化剂。由于氧气无处不在，无孔不入，在某些特殊领域，控制和防范它成为一项高难度的课题。在半导体生产工艺中，用到大量高纯气体、电子工业用气体，而氧气所引起的氧化作用是造成器件性能退化、寿命缩短的主要因素。在MOCVD(金属有机化学气相沉积）工艺中，反应剂和掺杂剂含氧量过高，会严重影响外延层结晶及电学性能［1］。在我国国家标准及SEMI标准中，对大多数的高纯气体及电子工业用气，都要求准确测定其中微量氧的含量并将氧气含量列为必控指标。由于大气中含有大量的氧 (21%），准确测定高纯气体中微量乃至痕量氧，是气体分析中的难点之一。本文针对气体中微量氧的检测方法做综合概述。

微量氧的测定分析方法依据不同的工作原理大致分为以下几类:比色法、黄磷发光法、电化学法、浓差电池法、气相色谱法等。……