超高纯氨精馏系统的节能新工艺①

赵海峰，曾爱武，贾鹏飞，王吉红

(天津大学化学工程联合国家重点实验室，天津 300072）

超高纯氨精馏系统的节能新工艺①

赵海峰，曾爱武，贾鹏飞，王吉红

(天津大学化学工程联合国家重点实验室，天津 300072）

随着我国太阳能光伏产业和半导体发光器件 (LED）的快速发展，超纯氨需求量将会大幅增加。目前，该市场主要为国外公司垄断，国内现有超高纯氨的生产水平还比较落后，针对超高纯氨的特性和技术难点，经过大量理论计算与实验研究，开发出了单塔连续节能精制工艺，通过此工艺不仅可得到合格的高纯氨产品，同时较现有的双塔连续工艺可节能15%。目前，我们已经将该工艺实现了工业化大规模生产，设备投资及生产成本得到了降低。

超高纯氨;精馏;纯化;节能

超纯氨作为电子工业中氮化硅膜的成膜气体，已经在半导体、液晶面板、氮化镓系LED生产中得到广泛应用，在多晶硅太阳能电池领域的应用也在不断增加［1］。特别是近年来随着国家对新能源产业政策的扶持力度不断加大，太阳能光伏电池和半导体发光器件 (蓝光LED）产品迅猛发展，对超纯氨的纯度提出了更高的要求。超高纯氨是蓝光LED上游产业外延片生产的三大核心材料之一，占外延片生产成本的20%左右，其品质直接影响到外延片的质量和优良率，对LED生产特别是高功率、高亮度LED生产十分关键。目前超高纯氨的生产技术及市场主要为国外公司所垄断。

超高纯氨纯度要求到99.99999%，其中H2、N2、Ar、CH4、CO、CO2等杂质总和要求小于100 ×10－9;水分要求小于50×10－9;各类金属杂质要控制在10－9数量级。……