纳米压痕测试装置机架柔度直接标定法的改进
2012-04-29 00:44:03黄虎赵宏伟万顺光耿春阳米杰
西安交通大学学报
2012年8期
黄虎 赵宏伟 万顺光 耿春阳 米杰
纳米压痕测试技术是近些年发展起来的一项具有微纳米级精度的力学测试新技术，由于具有操作方便、样品制备简单、测试分辨率高、测试内容丰富等众多优点，纳米压痕测试技术逐步发展成为微纳米力学测试的主流技术，在材料科学、生物医学、半导体技术、钢铁冶金、表面工程、纳米技术、微机电系统等领域发挥着越来越重要的作用，它可以对各类固态材料或器件的力学性能做出评价，从而对其设计和使用提供指导。
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