亚波长微纳光学的前沿研究 （一）＊

庄松林 王 琦 朱亦鸣 耿 滔 张大伟

①中国工程院院士，②博士，③⑤教授，④副教授，教育部光学仪器与系统工程研究中心；上海市现代光学系统重点实验室；上海理工大学光电信息与计算机工程学院，上海200093＊上海市重点学科项目第三期项目（S30502）；上海市超精密光学加工与检测服务平台建设（11DZ2290301）

亚波长微纳光学的前沿研究 （一）＊

庄松林①王 琦②朱亦鸣③耿 滔④张大伟⑤

①中国工程院院士，②博士，③⑤教授，④副教授，教育部光学仪器与系统工程研究中心；上海市现代光学系统重点实验室；上海理工大学光电信息与计算机工程学院，上海200093
＊上海市重点学科项目第三期项目（S30502）；上海市超精密光学加工与检测服务平台建设（11DZ2290301）

负折射 反常多普勒效应 黑硅

材料与结构在微纳米尺度展现了许多不同于宏观尺度的新特征，微纳加工技术已经成为当前科学研究与工业开发的热门领域之一。笔者简要介绍了负折射材料和黑硅这两种微纳光学材料的制备及其特性，展示了微纳光学材料在新技术中的广阔前景和科技创新中的重要作用。

1 概述

微纳光学是指微纳米尺度下的光学现象。随着光学器件和光学系统不断的微型化，其光学特性也会发生变化，当特征尺寸达到微纳米量级时，会出现很多宏观条件下没有的新现象。负折射材料的出现，为人们提供控制光和电磁波行为的全新手段；而利用飞秒激光脉冲与硅材料相互作用获得的黑硅材料，在太阳能电池等应用研究领域有着广泛的应用前景。……