涡旋式真空泵现状和发展趋势分析*

杨 旭，张贤明，＊＊，王立存，2，李 萍，周 亮，卢浩闻，陈 彬

(1.重庆工商大学废油资源化技术与装备教育部工程研究中心，重庆400067;2.西安交通大学流体机械及压缩机国家工程研究中心，西安710049)

1 涡旋式真空泵的发展历程

20世纪80年代初，Coffin DO将涡旋真空泵应用在高真空系统中［1］。涡旋真空泵的研究始于20世纪80年代末期。1988年，日本东京大学的Morishita E［2］研制了抽速为200 L/min的立式自转型油润滑涡旋真空泵，与公转型涡旋真空泵相比，该泵的径向间隙具有易于密封和控制的优点。而涡旋泵与旋片泵相比，具有更高的容积效率，泵内的振动和噪声水平都有所降低。此外，由于其结构更紧凑，整机重量和体积分别减少了12%和40%。Morishita E的研究表明了涡旋真空泵的高效性，并对如何消除余隙容积、控制间隙等提出了有效方法。

随着涡旋真空泵在半导体行业中应用的不断扩大，人们开始致力于干式涡旋真空泵的研究。干式涡旋真空泵与油润滑涡旋真空泵的区别在于泵腔内不含任何的油类和液体。因此解决泵内的密封和冷却问题，是干式涡旋真空泵研究的关键。1990年，Kushiro T［3］研制了抽速为600 L/min的卧式干式涡旋真空泵，该泵可以达到的极限压力为5×10－3T。它采用水冷的方式解决泵内各部件的润滑和冷却等问题。Kushiro T的研究表明了干式涡旋真空泵的可行性，还有效地解决了动静盘热力变形造成的相互接触及离心力造成的动盘振动等问题。虽然采用水冷方式可以有效地解决干式涡旋真空泵的冷却问题，但冷却水回路的设置使其结构更加复杂。……