Zr基非晶合金微热压印实验研究

郑 夏，郑志镇，李建军

（华中科技大学 材料成形与模具技术国家重点实验室，湖北 武汉 430074）

Zr基非晶合金微热压印实验研究

郑 夏，郑志镇，李建军

（华中科技大学 材料成形与模具技术国家重点实验室，湖北 武汉 430074）

利用微正挤压试验，研究了Zr65Cu17.5Al7.5Ni10非晶合金试样在不同温度和挤压速度下的微热压印过程，分析影响微流槽填充成形的工艺因素，利用泊肃叶公式找到描述微流槽热压印过程的工艺参数方程。结果表明，热压印过程受温度、挤压速率、槽宽等因素的影响，进而可以得到最佳的工艺参数范围；用泊肃叶公式能够较好的描述微流槽填充过程，并可以得到包含微热压工艺参数的方程，结合一些假设，可以解释某些实验现象并指导工艺参数的设定。

机械制造；材料实验；大块非晶合金；微热压印；微流槽

1 引言

聚合物的微细加工技术主要有微注射成形、微固化、微热压三种方法。相对于微注射技术，微热压过程中聚合物成形的流动距离较小，其残余应力也相对较小，微细结构的复制精度高，因而对于尺寸精度要求比较高的微纳结构来说，使用微热压成形法加工更为合适[1]。

微热压印属于正挤压工艺，它综合利用了精密体积成形和精密冲裁两种工艺的优点，成形后零件表面质量更高，性能更优良[2]。其变形过程是一个复杂的过程，它既要考虑材料的非线性，又要考虑几何非线性；既有弹性变形，又有塑性变形[3]。微热压技术的核心思想是形状的复制与转移，因此整个技术实现的前提是制备高分辨率、稳定、可重复使用的模具。……