非球面玻璃模造用碳化钨模仁磁控溅射铼–铱镀膜工艺优化

杜琪健

（富士康科技集团，广东 深圳 518109）

【真空镀】

非球面玻璃模造用碳化钨模仁磁控溅射铼–铱镀膜工艺优化

杜琪健

（富士康科技集团，广东 深圳 518109）

通过钽过渡镀层与铼–铱复合镀层相结合的膜层结构，解决了非球面玻璃模造碳化钨模仁热压寿命短、沾黏等问题。通过离子源和镀膜层厚度参数的优化调整，得到了最佳镀膜工艺和参数，改善了模仁的表面品质，延长了模仁的使用寿命。镀钽膜层15 min及铼–铱膜层21 min后所得镀膜的总厚度约为270 nm，模仁热压寿命可超过3 000次。

非球面玻璃；模造；模仁；碳化钨；钽；铼–铱镀层；磁控溅射

Author’s address:Foxconn Technology Group, Shenzhen 518109, China

1 前言

近年来，在高清像素与轻薄短小的需求驱动下，数码相机、照相手机等数码电子产品对非球面玻璃镜片的需求越来越大，能够大量制造非球面玻璃镜片的玻璃模造技术就显得相当重要[1]。非球面镜片比球面镜片更容易修正影像畸变、色差、慧差等光学像差，不仅可有效提高光学系统的成像品质，而且让镜头的镜片数目大幅降低[2]。另外，与塑胶非球面镜片相比，玻璃非球面镜片具有较高的折射率，低吸收率，宽的光穿透频谱范围，高抗变形性，高抗湿性，高硬度以及较佳的表面抗刮等特性。因此，近年来非球面玻璃镜片市场才不断成长。

虽然利用热压模造非球面玻璃镜片具有产值高、降低成本与容易制作小尺寸镜片等优点，但在技术方面仍有许多问题无法改善和解决。传统的玻璃模造中，玻璃表面的化学反应、应力作用以及反复的热处理是影响模仁寿命的主要因素。……