不同轧制方式对铌箔微观组织和织构的影响

黄元春，谢成，唐建国，邓运来

(1. 中南大学 轻合金研究院，湖南 长沙，410083；2. 中南大学 材料科学与工程学院，有色金属材料科学与工程教育部重点实验室，湖南 长沙，410083)

铌是稀有高熔点难熔金属，由于其具有优异的性能，金属铌成为在电子工业、化学工业、原子能工业、航空航天、薄膜技术和超导技术等现代工业生产和技术中得到广泛应用的高科技材料[1-4]。近年来，金属铌作为一种电极材料和表面工程材料(BM)，被广泛应用于船舶、化工、液晶显示器以及耐热耐腐蚀高导电等镀膜工业中。特别是因为铌和铌的化合物具有高导电性、高热稳定性和对外来原子的阻挡作用，在工件和集成电路表面上使用溅射法镀上铌层，可以防止腐蚀和铜向基体硅中扩散。王国栋等[5-6]研究了轧制和热处理工艺对铌材组织及晶粒度和铌带深冲性能的影响。现代工业的飞速发展对溅射用铌材提出了更高的技术要求，主要体现在铌靶材的化学纯度、晶粒度、织构和均一性等方面[7]。本文作者将纯铌板经 4种不同轧制方式后在1 050 ℃最终退火1 h，研究铌箔的显微组织和织构的演变规律，对铌箔的变形及再结晶行为进行探讨，以便为铌材的工业化生产和在电子工业等领域的大规模应用提供必要的技术支持。

1 实验

本研究实验材料来源于国内某大型铌材生产厂商。经多次电子束熔炼(EBM)的纯铌锭经开坯后轧制成厚度为5 mm的铌板。将实验材料分别编号为1号，2号，3号和4号。对1号，2号，3号和4号样品分别进行顺轧、斜轧、交叉轧制和横向轧制。……