用于微区漫反射测量的高分辨率多点探测系统

王利军，朱宗平，蔡 实，张 磊，邹 雷，王 伟

（中国人民解放军63963部队，北京100072）

0 引言

微区漫反射光是指通过入射激光照射漫反射介质，在其表面距离入射光源几个毫米半径范围内的漫反射光，这些光信号携带了介质内部及表面的大量光学信息。通过研究漫反射光信号，可以反演获得介质的吸收系数、反射系数等光学特性参数。从而可以对介质的局部进行光学特性的判断和分析，对漫反射材料的光学性质研究以及微型精密器件的光学检测具有重要意义。

空间分辨率（探测位置点之间的最小距离）和探测位置点的数量是影响光学参数获取精度的重要因素。空间分辨率越高，探测位置点越多，则反演获取光学参数的精确度越高。而现有的反射光强测量方式（光纤扫描式和探针式）对于微区范围而言局限性很大。如南开大学光子学中心曾利用光纤扫描方式对微区漫反射光进行了探测［1］，该方式的最大缺点是扫描过程中的不稳定因素太多，造成的测量误差较大，因此逐步被探针式取代。F.Bevilacqua［2］曾对探针式进行过研究，其空间分辨率为0.2mm，探测点数为6 个。T.Joshua Pfefer［3］测量了高吸收介质的漫反射分布，探测范围为0.23～2.46 mm，探测点数为6个。空间分辨率低，探测位置点少导致测量结果不能充分反映和描述微区漫反射光分布情况。本文针对目前空间分辨率低和探测点数少的问题，设计了高分辨率多点自动化探测系统。

1 漫反射实验测量方法

微区漫反射实验测量方法分为绝对式和相对式。……