一种制备金红石型二氧化钛及其形成半导体结构的方法
2014-03-19 15:37:28
无机盐工业
2014年1期
关键词：方法
本发明公布了一种金红石型二氧化钛的制备方法。具体方法：1）将过渡金属（如钒、铬、钨、锰、钌、锇、铑、铱、铂、锗、锡或铅）置于氧气（O2）氛围使之氧化，反应温度为200～400℃；2）再通过原子层沉积将气态卤化钛前驱体和水与经氧化的过渡金属在450℃左右反应，得到金红石型二氧化钛产品。此外，本发明还介绍了制备具有半导体结构金红石型二氧化钛的方法。 US,8609553
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