浅析微波介质陶瓷薄膜的生长模式

姜明　刘学伟　崔传文

摘 要 微波介质陶瓷在很高的微波频率下具有极低的介质损耗，广泛的应用于厘米、毫米波段，使用在卫星通讯、雷达以及移动通讯系统上，对它的研究日益受到人们的重视。因此，对微波介质陶瓷薄膜的生长模式研究具有重要的理论研究意义和应用探索价值。

关键词 陶瓷 介质 薄膜

中图分类号：TM28 文献标识码：A

从理论上说，结构合适的多层微波介质陶瓷薄膜器件，不仅可以减少微波损耗，有望获得高性能的器件，而且满足了器件片式集成化的要求。但是考虑到微波介质陶瓷薄膜在微波集成电路领域具有广泛的应用前景，因此，当前的首要任务是制备出结构、性能等各方面都比较优良的微波介质陶瓷薄膜。

1微波介质陶瓷的基本性质

钙钛矿型微波介质陶瓷中比较成熟的典型材料，具有立方钙钛矿结构，室温下晶格常数为a=0.4094nm，谐振频率的温度系数=+30？0-6/℃，=41，Q=5400，极其具有研究的潜力和应用的背景，同昂贵、烧结温度高、难以制备的Ba（Mg1/3Ta2/3）O3相比，其成本大幅度的降低，同时可以在适当的条件下代替Ba（Mg1/3Ta2/3）O3应用在微波通讯领域是一种很有发展潜力的微波介质陶瓷材料。如果对Ba（Zn1/3Ta2/3）O3微波介质陶瓷的A位二价Sr2+离子取代固溶，形成（Ba0.3Sr0.7）（Zn1/3Nb2/3）O3型微波介质陶瓷材料，能大大的改善其系统介电性能。目前对微波介质陶瓷块状材料的研究比较多。

2 薄膜的生长模式

薄膜的生长过程直接影响薄膜的结构以及它的最终性能。像其他材料的相变一样，薄膜的生长过程也可被划分为两个不同的阶段，即新相的形核和薄膜的生长阶段。……