PECVD PM塔多变量控制系统的设计研究
2014-10-21 20:06:36曹阳王慧慧陈金元
中国机械
2014年24期
曹阳 王慧慧 陈金元
摘要：本文介紹了PECVD PM塔的温度控制系统设计。作者提出了一种既能减小系统非线性，又能减小变量之间耦合的新的控制方案。在此基础上，将PECVD PM塔的温度控制系统视为10输入和10输出的线性被控对象，应用逆乃氏阵列法对系统进行了分析与设计。整个系统采用PLC系统控制。文中还给出了实验结果。
关键词：PECVD；多变量控制；系统设计；逆乃氏阵列法；PLC控制
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