静电悬浮加速度计反馈引起闭环点漂移机理及抑制方法

刘 爽，刘云峰，董景新

（清华大学 精密仪器系 高精度导航技术教育部重点实验室，北京 100084）

静电悬浮加速度计反馈引起闭环点漂移机理及抑制方法

刘 爽，刘云峰，董景新

（清华大学 精密仪器系 高精度导航技术教育部重点实验室，北京 100084）

静电悬浮加速度计的检测质量闭环点位置偏离电极框中心时会造成系统非线性误差，调整检测电路输出电压可调整检测质量闭环点，而在调整过程中发现反馈电压变化会引起电容检测电路输出电压漂移，从而影响闭环点调节精度。为解决此问题，研究了闭环点位置与检测电路输出电压变化的关系，推导了检测电路传递函数，初步确定了反馈电压对检测电路输出电压影响的原因是隔直电容选取不恰当，通过实验对比了材料为C0G、Y5P、X7R及SL的多层陶瓷电容作为隔直电容时输出电压与反馈电压关系。实验结果表明：采用低温漂、耐高压和受频率影响小的C0G电容作为隔直电容能够消除反馈对检测电路引起的输出电压漂移，从而消除调节闭环点过程中闭环点位置的漂移，并且能提高检测电路稳定性。

非线性；闭环点漂移；C0G电容；静电悬浮加速度计

静电悬浮加速度计工作原理与 MEMS电容式静电加速度计工作原理类似，其闭环点位置对线性度具有重要影响[4]，只有当检测质量闭环点位置位于电极框几何中心位置时，外界加速度才与反馈电压成线性。闭环点位置与检测电路输出电压的零偏及零偏波动有关。……