TFT-LCD生产有机废水处理及回用技术的研究和应用

阙祥明，朱 斌，蒋宏斌

（1.南京中电熊猫液晶显示科技有限公司，江苏 南京 210033；2.博西华电器（江苏）有限公司，江苏 南京 210046；3.中兴通讯南京研发中心，江苏 南京 210012）

0 引言

薄膜场效应晶体管液晶显示器（TFT-LCD）作为平板显示的主流技术，在生产取得经济效益的同时也带来新的环境问题，其主要的生产工艺包括阵列（Array）、成盒（Cell）以及模组工艺（Module），特别是阵列（Array）、成盒（Cell）在生产过程中会使用多种化学品和清洗剂，产生各类高浓度废液和含氟含磷的酸性无机废水、低污染清洗水，同时还产生85%以上碱性为主的有机废水。中电熊猫液晶科技显示有限公司G6 代线项目是国内第1 条具备完整自主技术的第6 代TFT-LCD 生产线，拥有着国际先进的生产技术，至今已运行有1 年多的时间。本项目采用了具有稳定性和先进性的废水处理及回收工艺，本文将对其生产过程中产生的有机废水的处理和回用技术进行阐述。

1 TFT-LCD 有机废水的来源和分类

在TFT-LCD 的生产过程中，接货清洗、光刻、显影、刻蚀、剥离、单板分断、PI 前、PI 定向后清洗等需大量的超纯水、清洗剂及有机溶剂，根据污染程度的不同可分为有机废液、重度污染有机废水、轻度污染有机废水三大类［1］。

（1）高浓度的废液通过机台设备自带的回收系统循环回用，当其不能满足工艺要求时，再排放至废液储罐收集，之后给危废处理部门回收处置。

（2）被玻璃基板带走的有机物质在后续的清洗过程中被洗脱下来形成高浓度有机废水，最终进入废水处理系统中处理。……