MgAl/PbPc/Cu有机薄膜二极管的制备与气敏特性分析

王东兴等

摘要：选用酞菁铅作为有机半导体气敏材料，用真空热蒸镀、磁控溅射等镀膜方法制备器件，所制备薄膜二极管的结构为MgAl/PbPc/cu，使用Keithley 4200半导体测试仪与气敏测量系统分析器件肖特基二极管的气敏特性，通过对电流一电压特性的实测数据进行深入的理论分析，比较出器件对不同浓度NO2气体的敏感程度。endprint

摘要：选用酞菁铅作为有机半导体气敏材料，用真空热蒸镀、磁控溅射等镀膜方法制备器件，所制备薄膜二极管的结构为MgAl/PbPc/cu，使用Keithley 4200半导体测试仪与气敏测量系统分析器件肖特基二极管的气敏特性，通过对电流一电压特性的实测数据进行深入的理论分析，比较出器件对不同浓度NO2气体的敏感程度。endprint

摘要：选用酞菁铅作为有机半导体气敏材料，用真空热蒸镀、磁控溅射等镀膜方法制备器件，所制备薄膜二极管的结构为MgAl/PbPc/cu，使用Keithley 4200半导体测试仪与气敏测量系统分析器件肖特基二极管的气敏特性，通过对电流一电压特性的实测数据进行深入的理论分析，比较出器件对不同浓度NO2气体的敏感程度。endprint