工艺参数优化在超精密飞刀铣削加工的分析

于雪梅 ，朱晓华 ，畅 莹

（1.淮海工学院 机械工程学院，江苏 连云港 222005；2.江苏省海洋资源开发研究院（连云港），江苏 连云港 222005）

电子元器件的超精细化生产与加工，越来越受到电子产品制造企业的重视。虽然现阶段可以使用单点金刚石飞刀直接进行纳米级别的元器件加工，但是从实际情况来看，元器件表面粗糙无法真正满足生产的需要。实践证明通过对加工参数的优化能够在很大程度上实现飞刀加工的精细化，提升铣削加工的效率，保证产品质量与生产需求。因此工艺参数的优化对于实现飞刀铣削加工的超精密性有着十分重大的现实意义。

1 影响飞刀铣削加工超精细的主要因素

飞刀铣削加工就其本质而言是一种断续加工，飞刀在一个周期中是对元件进行一次加工，从而使得加工元件沿着飞刀运行方向形成一定的高度残留，如图1、图2所示。由于这种高度残留与飞刀自身的运动特性有关，很难依靠其他技术进行削减与降低。高度残留的存在，就使得元器件在飞刀铣削加工之中形成粗糙的表面。而对于残留高度的研究，能够有效提升元器件加工的超精细化，满足工业生产的客观要求。

图1 不同主轴转速下工作的表面粗糙度Rt

图2 不同进给速度下工件的表面粗糙度Rt

（1）主轴转速与飞刀运行速度的影响。从图1、图2可以看出主轴转速与飞刀运行速度对飞刀铣削加工的精密性所产生的重大影响。在图1中，在同一飞刀铣削加工的正常运作下，不同转速对元器件表面的粗糙程度有着一定的线性关系，虽然从理论上来看，当飞刀铣削加工主轴的转速越高时，元器件表面应该越光滑。……