李建明
摘 要:
本文主要介绍了在超纯水处理系统中起重要作用的反渗透生产工艺技术,以及影响反渗透膜性能的主要因素和改善措施。并结合合肥彩虹蓝光科技有限公司的超纯水处理系统浅述了反渗透技术在超纯水处理中的应用。
关键词:
纯水处理,反渗透,回收率
正文:
与传统的纯水相比,超纯水不仅关注去除水中的溶解电解质,还关注于去除水中的有机物、溶解氧、细菌以及微小颗粒等杂质。随着半导体元器件的集成度的不断提升,生产的工艺步骤越来越多,元件被重复清洗,对作为清洗介质的超纯水的要求越来越高,如果超纯水品质达不到要求,其本身对器件就是一种污染,更谈不上清洗。作为制造超纯水的原水通常含有电解质、有机物、悬浮物、微生物以及溶解性气体等杂质,任何一种单一的处理手段都难以将所有的污染物全部去除,为了有效去除各种杂质,需要各种处理手段的综合运用。其中,反渗透膜处理可起到非常重要的作用。
1 反渗透的原理
利用超静压力泵高压渗透,使水分子和离子态的矿物质元素,通过一层逆渗透膜,而溶解在水中的绝大部分重金属、有机物以及细菌、病毒等,则无法透过 逆渗透膜被截留。以逆渗透原理,将水中所含不纯物质如热原、滤过性病毒、细菌、毒素、化合物、重金属(砷、钴、镉、汞等)有毒物质、金属、盐类、游离子等危害人体健康的物质,逆渗透膜使杂质与纯水隔离,并制造出纯净水。……