巴尔查斯PVD涂层机的起弧保护方式

王贵元

【摘要】随着中国经济的发展，PVD等离子涂层业务也发展很快。在PVD等离子涂层中起弧保护是很重要的刀具保护措施之一。本文对针对巴尔查斯BAI1200PVD涂层设备的起弧保护进行了研究，详细分析了起弧保护的原理和动作过程。

【关键词】巴尔查斯；PVD涂层；起弧；起弧保护

近年来，随着中国工业经济的发展，PVD涂层业务也发展很快。目前在国际市场上知名的PVD设备制造商有瑞士的巴尔查斯、德国的普拉提，荷兰的豪泽等。其中巴尔查斯的涂层在国际上处于领先地位，市场占有率第一。在PVD涂层工艺过程中，起弧保护是重要的保护之一，好的起弧保护措施可以有效的避免加工零件灼伤，从而最大限度的保护工件。

一、巴尔查斯PVD涂层机介绍

巴尔查斯涂层设备最普遍的型号是BAI1200，在2006年后逐渐推出了新型号-INNOVA。无论是BAI1200和INNOVA设备涂层原理都是一样的，都分为抽真空、刻蚀、涂层、冷却、检漏五个阶段。其中最关键的阶段是刻蚀和涂层：

刻蚀：是巴尔查斯涂层机特有的工艺。由弧电源在阴极和辅助阳极间放电，对工艺气体-氩气进行电离，从而形成氩气的等离子体。等离子体中的带正电的氩离子在偏压电源产生的电场中进行加速，高速撞击工件的基体，把附在基体表面的氧化层打掉，从而增加了涂层的结合力。

涂层：金属蒸发源（靶源）作为阴极，在真空的条件下通过它与阳极腔体之间的弧光放电，使靶材蒸发并离化，形成空间等离子体。等离子体中的金属正离子在偏压电场的牵引下，镀覆到工件基体表面形成涂层。……