微细加工技术的应用和趋势

王凌杰　徐钊

衡水学院分院



微细加工技术的应用和趋势

王凌杰徐钊

衡水学院分院

摘要：先进制造工艺是先进制造技术的核心和基础，一个国家的制造工艺的水平的高低，在很大程度上决定了其制造业在国际市场的竞争实力。本文主要介绍先进制造工艺中的微细加工技术在现在各个方面的应用及发展。

随着微纳米技术的不断发展，以本身形状尺寸微小或操作尺度极小为特征的微机械已成为人们在微观领域认识和改造客观世界的一种高新技术。微机械由于具有能够在狭小空间内进行作业，而又不扰乱工作环境和对象的特点，在航空航天，精密仪器，生物医学等领域有着广阔的应用潜力，且是实现纳米技术(Nan0technology) 的重要环节，因而受到人们的高度重视，被列为21世纪关键技术之首。

1　微机械的特征

微机械在美国常称为微型机电系统；在日本称作微机器；而在欧洲则称作微系统。微机械按其尺寸特征可以分为1-10mm的微小型机械，lnm—lmm的微机械，以及lnm-lmm的纳米机械。而制造微机械常采用的微细加工又可以进一步分为微米级微细加工(micro—fabricat ion)，亚微米级微细加工(sub—micro—fabrication)和纳米级微细加工(nano—fabrication)等。概括起来，微机械具有以下几个基本特点：

体积小、精度高、重量轻。其体积可小至亚微米以下，尺寸精度达纳米级，重量可轻至纳克。性能稳定、可靠性高。由于微机械的体积甚小，几乎不受热膨涨，噪声和挠曲等因素影响，具有较高的抗干扰性，可在较差的环境下进行稳定的工作。……