多孔硅的研究概况与应用

张　华， 李　蛟， 丛日敏

(山东理工大学材料科学与工程学院， 山东淄博 255049)



多孔硅的研究概况与应用

张华， 李蛟， 丛日敏

(山东理工大学材料科学与工程学院， 山东淄博 255049)

摘要：综述了多孔硅材料的起源和发展，介绍了多孔硅的制备方法和发光机理，提出了多孔硅发光理论研究的发展方向和切入点.另外，阐述了多孔硅表面修饰研究以及多孔硅作为新的功能材料在各个领域的应用研究现状，并对多孔硅在器件上的应用特点进行了分析，提出了多孔硅器件在应用上可以广泛借鉴晶体管结构的设想.

关键词：多孔硅； 功能材料； 综述； 发光机理； 应用器件

多孔硅具有纳米硅原子簇为骨架的海绵状结构，最早在1956年被Uhlir在HF酸中电解抛光硅时发现[1]，但当时并未引起重视，直到1990年英国皇家信号与雷达研究所的Canham[2]报道了他用电化学阳极腐蚀的方法在单晶硅片的表面制备的一种多孔状物质.这种物质在室温下可在近红外和可见光区有着较强的荧光发射，被称做多孔硅(PS)，且很快就引起了世界各地众多科技工作者对多孔硅的研究热情.当时正处在通讯技术迅速发展的时代，信息技术的发展严重依赖信息的存储、处理速度和传递能力，这些能力基本都是构建在硅基大规模和超大规模集成电路的基础上的.传统集成电路信息的传递主要依靠电信号，通过电流的通断和电位的高低来对数据进行编码和逻辑判断.人们认为硅基光电集成技……