解析半导体生产中扩散工艺技术应用

袁强

（中国振华集团永光电子有限公司贵州贵阳550000）

解析半导体生产中扩散工艺技术应用

袁强

（中国振华集团永光电子有限公司贵州贵阳550000）

在半导体生产中，扩散工艺技术是经常用到的一种制作方法。本文就将从半导体技术的特点、扩散工艺的特点入手，介绍半导体生产中扩散工艺技术的主要应用。

半导体生产；扩散工艺技术；半导体技术

1 半导体技术的简介

所谓的半导体技术指的是由常见的半导体材料构成相关组件和集成电路的技术。普通的半导体是由某一单一元素制作而成，最常见的半导体就是硅材料制成的半导体。此外，半导体也通过两种不同的元素构成，比如砷化镓（GaAs）。

2 扩散工艺技术的简介

2.1 扩散的含义

扩散就是指在分子运动或者涡旋运动的过程中，物质从一种恒定的状态逐步向周围扩散。由于密度的不同，微粒就会从浓度高的地方转移到浓度底的地方，直至其达到基本均匀混合的物理现象。

2.2 作用机理和应用范围

一般把扩散当成物质内部的各个质点运动的基本方式。当环境温度达到了绝对零度以上时，物质内部的各个质点就要不断地进行热运动。此时，它的某些物理性质，比如浓度、密度、化学位、内部的应力等就会出现一定的梯度。在热运动的作用下，物质内部的质点有可能会发生定点迁移。这个过程就是常说的半导体之中的扩散现象。

对于普通的半导体，P型的半导体一般掺杂了受主杂质，N型的半导体一般掺杂了施主杂质。……