微机械加工技术在微传感器中的应用分析

裘敏浩

（贵州电子信息职业技术学院，贵州 凯里 556000）

微机械加工技术在微传感器中的应用分析

裘敏浩

（贵州电子信息职业技术学院，贵州 凯里 556000）

随着科学技术的不断发展，微传感器因其微型化、智能化、低能耗和易集成的特点得到了广泛应用。微机械加工技术在微传感器的的制造工艺中得到了越来越多的应用。本文主要阐述了微机械加工技术在微传感器中的应用。

为机械加工技术；微传感器；应用

微机械加工又称为微机电系统，是指可以批量制作的、集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号灯处理和控制电路、甚至外围接口、通讯电路和电源等于一体的微型器件或者系统。它的主要特点是体积小、重量轻、耗能低、准确度高并且能够批量生产，从而降低成本。传感器是可以将在桥梁上所受到力转换成可以解读的电信号，构成将现实中的集中力与电子设备之间的联系，从而完成信号的处理。随着人们生活水平不断提高，对于各种具有多功能的小型设备的要求越来越高，同时在时代的发展潮流中，微传感受到了越来越多的关注，随着科学技术的不断发展，微传感已经成功的运用到许多的技术领域中。

1 微机械加工技术

微机械加工技术是微电子机械系统技术的核心，使用该技术可以制造出更为微小的结构。一般，微机械加工技术分为体微机械加工和表面微机械加工两大类。体微机械加工技术主要是对单晶硅或者生有表面膜的体硅进行腐蚀，从而得到预期微型结构的一种加工技术。……