半导体生产的CPS构建及调度可行性分析⋆

曹秋实，乔非

（同济大学，上海，201800）

半导体生产的CPS构建及调度可行性分析⋆

曹秋实，乔非

（同济大学，上海，201800）

在复杂制造及自动控制领域，半导体生产调度一直是研究的热点。半导体生产制造系统因其特有的复杂性、不确定性、多目标性以及多约束性特征，为优化调度、提高生产性能提出了挑战。信息物理融合系统（Cyber Physical System，CPS）是一种融合计算、通信与控制的新型复杂实时分布式系统，系统中计算过程和物理过程在开放环境下持续交互、深度融合，其特征和功能为离散制造的智能化生产和竞争力的提高提供了有效的思路和途径。本文基于信息融合系统的基本理念，结合其在制造业的应用发展，探讨了针对于半导体生产的CPS构建以及进行调度优化的可行性。

半导体生产；CPS；生产调度

1 半导体生产调度研究概述

近年来，随着技术的进步和经济的发展，半导体的需求量逐年上升。半导体制造业已经成为我国国民经济和社会发展的基础性、战略性产业，越来越多的半导体制造厂在我国建立，半导体制造业的竞争程度也不断上升。企业力求于借助于先进的生产计划和调度方法创造更多的利润，获得更大的投资回报。半导体生产企业需要尽可能提高设备利用率及生产率，降低产品生产周期，提高投资收益率，达到这些目标，从技术层面来说，主要就是需要切实可行的生产计划和调度控制策略[1]。

半导体生产线最显著的特点是多重入，重入这一现象的存在使得工件在加工过程中的不同阶段可能重复访问同一个设备（群），每个设备（群）需加工的工序集合和工件数量将大大增加。……