论电子级氢氟酸的纯化技术及其发展

陈 林，邵 勇，朱 龙（江阴江化微电子材料股份有限公司，江苏江阴 214400）

论电子级氢氟酸的纯化技术及其发展

陈 林，邵 勇，朱 龙
（江阴江化微电子材料股份有限公司，江苏江阴 214400）

磷矿石作为氟生产的主要原料，受到国家限制后，对于氟产品有了一定的影响。随着国际经济的快速发展，半导体产业也迅速发展。电子级氢氟酸是半单体的主要化学原料。从电子级氢氟酸纯化技术的现状和未来发展两个方面展开了研究，意在探索纯化技术的发展，以及对于萤石产生战略性保护，为经济和社会创造更大的效益。

电子级氢氟酸；纯化技术；配套技术

电子级氢氟酸是一种无机酸，通常情况呈无色且透明液体，易挥发，有强烈的刺激性气味。氢氟酸的腐蚀性很强，大多数金属均会与其发生反应，并会对于金属造成腐蚀。高纯度的氢氟酸主要在电路中有广泛的应用，故成了集成电路板中不可或缺的一部分。同时LED中也需要大量高纯度氢氟酸作为面板的制造原料。高纯度的氢氟酸对于集成电路的安全性有着至关重要的作用，纯度越高，集成电路的安全性越好。与此同时氢氟酸的纯度与集成电路板的传导性也有一定的关联，故高纯氢氟酸的提取技术与工艺对于集成电路的发展有着重要意义。同时高纯度氢氟酸对于其他化学产品也有着重要意义。

1　电子级氢氟酸的纯化技术的现状

当前，对于高纯度的氢氟酸制造与提取主要依赖一些蒸馏提取的方式，蒸馏提纯又在工艺上有所差别。……