有限元仿真技术在微机电系统课程教学中的应用与实践

王佩红 石市委 张 苗 廖艳林 孟凡明

安徽大学物理与材料科学学院 安徽合肥 230601

现代教育技术与装备

有限元仿真技术在微机电系统课程教学中的应用与实践

王佩红 石市委 张 苗 廖艳林 孟凡明

安徽大学物理与材料科学学院 安徽合肥 230601

在微机电系统课程中与工程力学相关的内容历来是教学的难点和重点。而ANSYS软件由于具有强大的前后处理及图形显示功能而成为国内外最广泛的计算机辅助分析软件之一。讨论了在微机电系统课程教学中使用ANSYS有限元仿真软件辅助教学的优势和必要性，并以具体教学案例讲解了使用方法。教学实践表明，在微机电系统课程教学中引入ANSYS有限元仿真软件辅助教学，不仅可以让学生对复杂模型和抽象概念有最为直观的认识，且有助于他们对问题的分析和理解，大大提高了教学效果。

ANSYS；微机电系统；圆形薄板；应力分布；位移分布

微机电系统(MEMS)是在微电子技术的基础上发展起来的，融合了硅微加工和精密机械加工等多种微加工技术，并应用现代信息技术构成的微型系统[1,2]。是20世纪末、21世纪初兴起的科学前沿，是当前十分活跃的研究领域，涉及多学科的交叉，如物理学、力学、化学、生物学等基础学科和材料、机械、电子、信息等工程技术学科。该领域研究时间虽然很短，但是已经在工业、农业、机械电子、生物医疗等方面取得很大的突破，同时产生了巨大的经济效益。

随着微机电系统的迅猛发展，对相关人才的要求也越来越高。……