自光感型支化酰亚胺制备及其性能研究

周红霞，李子源2*，常　存，宁志强

（1.黑龙江省科学院 石油化学研究院，黑龙江 哈尔滨 150040；2.中航工业哈飞集团，黑龙江 哈尔滨 150040；3.黑龙江省科学院 黑龙江 哈尔滨 150001）

自光感型支化酰亚胺制备及其性能研究

周红霞1，李子源2*，常存3，宁志强1

（1.黑龙江省科学院 石油化学研究院，黑龙江 哈尔滨 150040；2.中航工业哈飞集团，黑龙江 哈尔滨 150040；3.黑龙江省科学院 黑龙江 哈尔滨 150001）

采用星型氨基单体和各种芳香二酐单体并与邻位烷基苯胺封端合成一系列自光感型支化酰亚胺（HPI），并进行了表征。紫外光谱表明HPI薄膜具有较高的透光性，同时HPI-1薄膜具有较低介电性能。HPI薄膜也表现出较高的玻璃化转变温度（Tg＞190℃）和良好的热稳定性能（T5%＞506℃）。紫外光刻蚀后的薄膜经过SEM分析，表明具有较细的条带（4μ m）。

支化；自光感；热性能

前言

近年来，基于支化型的大分子研究取得了巨大的成功。这是由于它们独特的物理和化学性能，比如低黏度，高溶解性能，数量巨大的端基官能团等［1～4］。将支化型聚合物作为光感材料也变得切实可行，Kakimoto［5］报道了一个超支化聚酰胺光刻胶，显示出在436nm处具有较高的曝光感应度（140mJ/cm2）。唐正中［6］也合成出一种新型的超支化聚醚（hb-PAAs），也具有较高的曝光感应度。

光感性的聚酰亚胺由于具有耐热稳定性、低介电常数、耐辐照等性质，已经被广泛应用在半导体等领域。但是聚酰亚胺由于在亚胺化之后带来溶解性能下降和尺寸收缩等问题，很难真正应用在工业光刻胶等尺寸较小的领域。印杰［7］等采用BTDA作为二酐，用邻位二甲基胺封端，合成出一种超支化的自光感型聚酰亚胺，具有良好的溶解性能。……