基于数字全息层析的三维测量技术

徐强胜高瑞翔房鹤飞周文静于瀛洁/ .上海市质量监督检验技术研究院；.上海大学

基于数字全息层析的三维测量技术

徐强胜1高瑞翔1房鹤飞1周文静2于瀛洁2/ 1.上海市质量监督检验技术研究院；2.上海大学

针对传统测量方法不能同时实现功能性梯度材料外部三维轮廓测量和内部三维结构测量的缺陷，提出了基于数字全息层析的三维测量技术。以单模光纤作为实验样本，采用基于数字全息层析的三维测量技术对其进行分析。实验结果表明，基于数字全息层析技术的三维结构测量方法能很好地实现功能性梯度材料等一些透明物体的三维轮廓测量和内部三维结构测量。

数字全息层析技术；数字全息技术；计算机断层成像技术；三维测量

0　引言

随着科技的发展，人们对物质的分析已经从物体表面深入到物体内部，从物体的二维发展到物体的三维。特别是针对一些功能性梯度材料（如光纤、梯度折射率透镜、棒透镜等）及活体细胞，不仅需要测量其外部三维轮廓，同时由于内部物质不同，其内部折射率也不同，因此也需要测量其内部三维结构。但传统的测量技术，如轮廓测量仪、三坐标测量仪、CT测量机、白光干涉仪和干涉仪等，都不能同时实现外部轮廓和内部结构的测量。因此，如何测量功能性梯度材料的外部三维轮廓及内部三维结构成为当前研究的热点。

数字全息层析［1］是一项光学层析成像技术［2］，是数字全息技术［3-4］与层析（CT）技术［5-7］的融合体。……