MOEMS 2D扫描镜的研究进展

马天义，余　跃，许　敬，吴建东（1.上海航天控制技术研究所，上海01109；.中国航天科技集团公司红外探测技术研发中心，上海01109）

综述与评论

MOEMS 2D扫描镜的研究进展

马天义1，2，余跃1，2，许敬1，2，吴建东2
（1.上海航天控制技术研究所，上海201109；2.中国航天科技集团公司红外探测技术研发中心，上海201109）

微光电子机械系统（MOEMS）扫描镜凭借其在成本、功耗和封装上的优势，在军民用多领域都有广泛的应用前景。在分析MOEMS扫描镜的分类方式的基础上，针对静电驱动中的微机械集成方式，展开框架式和无框架式两种MOEMS扫描镜的工作原理的探讨，并给出了典型产品及系统应用，总结了目前在MOEMS扫描镜的系统应用方面存在的难点问题。介绍了国内MOEMS扫描镜的研究现状，并分析了与国外产品的差距。

微光电子机械系统；扫描镜；静电驱动；框架式

0　引言

微光电子机械系统（micro-opto-electro-mechanical system，MOEMS）是指利用微加工技术实现的微光机电器件与系统，系统中的微光学元件（如透镜、反射镜、光栅等）在微电子和微机械装置的作用下能够对光束进行汇聚、反射、衍射等控制作用，从而实现光的开关、衰减、扫描和成像等功能。MOEMS扫描镜通常是指微反射镜面在驱动力作用下发生偏转，从而改变光束的出射角度，与传统光学扫描方式相比，MOEMS扫描镜在体积、重量、功耗以及动态响应方面的优点尤为突出，此外还具备MEMS器件所共有的成本低、易于实现批量制造的优点。鉴于此，MOEMS扫描镜逐渐成为微光学系统的一个核心器件，广泛应用于信息技术、医疗设备、工业、电子消费和军工等领域［1］。……