晶体单色器微调结构设计分析

周 顺，冯 勇，阳志强，江 波

(1.西安工业大学 陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室/光电工程学院，西安710021; 2.中国科学院 西安光学精密机械研究所，西安 710119 )



晶体单色器微调结构设计分析

周 顺1，冯 勇1，阳志强1，江 波2

(1.西安工业大学 陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室/光电工程学院，西安710021; 2.中国科学院 西安光学精密机械研究所，西安 710119 )

为了利用同步辐射单色光研究生物细胞、病毒等以促进生物医药学的发展，对输出单色光的晶体单色器的主要结构(微调结构)进行了设计分析.根据实际的应用要求，单色器只输出三个能量点分别为2.1 keV、2.3 keV和2.5 keV的光束线，能量分辨率Δ≤5×10-4，角度重复精度小于3″，微调结构采用三块独立的切槽型晶体，设计了晶体安装座、柔性铰链和推杆等，利用步进电机实现晶体角度的精确微调.步进电机朝一个方向转到预设的光栅尺数值，并与自准直仪的监测数值比较.测试结果表明：角度微调的10次移动过程中，最大偏差2.79″，最小偏差-1.87″，满足重复精度小于3″的设计指标.

同步辐射；单色器；角度微调；柔性铰链；步进电机

同步辐射光源已经成为材料科学、生命科学、环境科学、物理学、化学和医药学等学科领域的基础，以及应用研究的一种先进的、不可替代的工具，并且在电子工业、医药工业、石油工业、化学工业、生物工程和微细加工工业等方面具有重要而广泛的应用.单色器是同步辐射装置光束线中的核心部件，晶体单色器是用晶体作为衍射……