微波器件射频动态老化系统研究

迟 雷，陈龙坡，黄 杰，彭 浩（1. 中国电子科技集团公司第十三研究所，石家庄 050051；2. 国家半导体器件质量监督检验中心，石家庄 050051）

微波器件射频动态老化系统研究

迟 雷1,2，陈龙坡1,2，黄 杰1,2，彭 浩1,2
（1. 中国电子科技集团公司第十三研究所，石家庄 050051；2. 国家半导体器件质量监督检验中心，石家庄 050051）

随着微波器件的发展应用领域的扩展，对其可靠性的要求也越来越高。在微波器件的可靠性评估试验中，射频动态老化试验是最重要的试验之一。而试验系统的可靠性，经济性和实用性直接影响到可靠性评估的安全性和准确性。本文选取微波混频器为研究对象，设计并搭建了射频动态老化系统，在设计中加入了负反馈电路以保证系统的稳定性。基于虚拟仪器软件和数据采集卡，上位计算机可实时采集海量状态信息，如直流参数和射频参数。通过微波器件软硬件平台验证表明，该系统可以很好的完成微波器件的动态老化过程，较传统的静态老化系统有很大的改进和提高。

微波器件；射频动态老化试验；负反馈电路；功率监测

引言

随着微波器件在高科技领域的广泛应用，其可靠性面临着日益严峻的挑战。为了更好地了解微波器件的性能，用户单位和生产单位要求其可靠性筛选和评价试验应尽量接近产品的实际应用环境[1，2]。在所有可靠性筛选和评价试验中，老化试验是最能有效剔除早期失效，表征微波器件性能的试验之一[3，4]。

目前微波器件的老化试验一般采用直流老化的方式[5]。……