TEM在催化科学中的应用（下）

付 强，黄文氢

（中国石化 北京化工研究院，北京 100013）

专题综述

TEM在催化科学中的应用（下）

付 强，黄文氢

（中国石化 北京化工研究院，北京 100013）

综述了影响透射电子显微镜成像的因素，并对透射电子显微镜常用的配件，即能谱、能量损失谱、原位试验配件和三维重构配件进行了介绍；阐述了透射电子显微镜在催化科学中的应用，讨论了制样、TEM模式和STEM模式、能谱及面分布、原位实验及三维重构技术在催化科学的应用；提出了透射电子显微镜在催化科学中应用的发展方向。

透射电子显微镜；扫描透射；原位实验；催化科学

（接上期）

3.3 STEM模式在催化科学中的应用

在TEM模式下，打在试样上的电子束为平行光。如果将电子束聚焦打在试样上，同时采集透射部分的高角度散射电子，在得到试样形貌信息的同时，还可得到试样成分的元素质量衬度，这便是STEM模式成像的基本原理。

与TEM模式相比，STEM模式的主要区别在于与试样作用的电子束是聚焦的，且采集的信号是高角度散射电子。因此，STEM模式通常又叫做高角度环形暗场像。STEM模式的主要特点为：1）由于电子束是聚焦的，可以控制电子束与试样的相对位置，从而实现对试样的点、线、面分析；2）TEM模式通常为明场像，而STEM模式通常为暗场像；3）在STEM模式下，信号强度正比于元素质量的平方，因此STEM成像又叫做Z衬度像，不同的元素成分在STEM像中拥有不同的衬度［19］。

由于拥有良好的元素衬度，STEM模式在催化科学中最为常见的应用是对载体上的纳米颗粒催化剂成像。……