光学自由曲面面形检测技术

张 磊，刘 东，师 途，杨甬英，李劲松，俞本立

(1.安徽大学 光电信息获取与控制教育部重点实验室，安徽 合肥 230601; 2. 浙江大学 现代光学仪器国家重点实验室，浙江 杭州 310027)

光学自由曲面面形检测技术

张 磊1*，刘 东2，师 途2，杨甬英2，李劲松1，俞本立1

(1.安徽大学 光电信息获取与控制教育部重点实验室，安徽 合肥 230601; 2. 浙江大学 现代光学仪器国家重点实验室，浙江 杭州 310027)

光学自由曲面因其表面自由度较大，可以针对性地提供或矫正不同的轴上或轴外像差，同时满足现代光学系统高性能、轻量化和微型化的要求，逐渐成为现代光学工程领域的热点。自由曲面的检测技术已经成为制约其应用的最重要因素，而目前精密光学自由曲面的检测手段仍然沿用非球面检测方法。本文回顾了近年来的自由曲面检测发展历程，对目前主流的非接触式检测方法(微透镜阵列法，结构光三维检测法，相干层析术，干涉检测法)进行了重点介绍；总结了非球面检测方法运用到自由曲面检测中的技术难点，同时结合这些技术难点，展望了自由曲面检测的未来发展新趋势，主要集中在非旋转对称像差的动态补偿、分区域像差的回程误差校准及子孔径拼接技术。

自由曲面检测；干涉检测法；子孔径拼接；非旋转对称像差补偿

1 引 言

光学自由曲面元件其表面自由度较大，可以针对性地提供或矫正不同的轴上或轴外像差，同时满足现代光学系统高性能、轻量化和微型化的要求，逐渐成为现代光学研究领域和工业及商业领域的新宠。……