相变存储器（PCM）建设项目工艺技术及设备配置浅谈

韩敏娟

（信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司上海分公司，上海市 200233）

【摘 要】集成电路产业是现代高科技的基础，也是现代社会的主要推动力之一。今天许多与生活密切相关的事物，均归功于先进的半导体技术与器件。大多数电子系统的功能是处理及存储数据，而这一功能通常以内存作为主要载体来实现。在许多新兴的内存技术中，相变存储器（Phase Change Memory，PCM）是其中唯一接近大规模量产的技术。它同时具有高性能与非易失的特性，也可能是唯一全面兼容CMOS工艺、并能在近年内迅速量产的技术。本文详细表述PCM项目的生产工艺技术特点以及工艺设备配备需求。

【关键词】集成电路；PCM制程；相变存储器；金属化制程

随着集成电路技术的持续进步，新的内存技术也继续强化现有的系统或创造全新的应用。在许多新兴的内存技术中，相变存储器（Phase Change Memory，PCM）是其中唯一接近大规模量产的技术。它同时具有高性能与非易失的特性，也可能是唯一全面兼容CMOS工艺、并能在近年内迅速量产的技术。预期相变存储器将对现代电子产品与市场产生非常巨大而深远的影响。相变存储器拥有非常广阔的应用前景，整个市场潜能非常好。

一、項目建设的必要性

虽然中国是全球最大的芯片消费国，但是中国的半导体技术还远远落后，关键芯片仍需依赖进口，相变存储器是未来中国取得全球半导体技术与电子产业领先地位的最佳选择。根据半导体发展的经验，新技术能早期推出者将获得最高的市场利益，后来者将面临激烈的市场竞争。……