研究生椭偏光谱实验课的教学探讨

张玉苹

摘要：在研究生的椭偏光谱实验课中，本文站在学生的角度精心设计教学内容，采用理论结合实际的讲授方式，从仪器的注意事项、操作步骤、数据处理三方面深入讨论，使研究生更好地利用椭偏谱仪为科学研究提供有力的数据支持，并掌握一项科研仪器的使用技能。

关键词：椭偏光谱；膜厚；光学常数；教学讨论

中图分类号：G643 文献标志码：A 文章编号：1674-9324（2017）28-0266-02

椭偏光谱为椭圆偏振光谱的简称，是一种研究表面、界面、薄膜分析的光学技术，被广泛应用于物理、化学、材料和生物等学科领域[1-4]。由于其对样品无损无接触、精度高、灵敏度高、无需真空、快速等特点，同时能够确定薄膜的厚度和光学常数，在众多薄膜分析技术中崭露头角，已成为一种极具吸引力的测量技术。目前，众多高校的相关专业都为本科生开设了椭偏光谱课程，使用椭偏仪测量薄膜的厚度与光学常数也逐渐成为高校仪器分析课程的基础实验之一[5，6]。这种封闭式仪器管理模式直接影响了学生实验的进展，降低了科研效率，也使大型仪器的作用得不到充分发挥，造成科研资源的浪费。

随着我国经济的迅速发展，对科研资金的投入逐年提高，高校和科研院所对椭偏仪的采购逐渐增多，如何使椭偏仪得到充分利用，更好地为科研工作者服务，是很多科研单位需要认真思考的问题。这里我就结合自身的体会和经验，以Uvisel 2椭偏仪为例，从仪器的注意事项、测试的操作使用、建模型技巧等三个方面，谈谈如何对研究生进行安全、规范的椭偏实验教学。……