防静电工作区内人体静电电位在线监测技术研究

高志良 宋 博 王若珏 何积浩 路子威

（北京东方计量测试研究所，北京 100086）

防静电工作区内人体静电电位在线监测技术研究

高志良 宋 博 王若珏 何积浩 路子威

（北京东方计量测试研究所，北京 100086）

人体静电是静电防护工程中主要危害源之一。本文采用接触式静电电位测量方法，提出了基于RS485总线的防静电工作区（简称EPA）内人体静电电位在线监测系统，开发了EPA内人员操作时防静电腕带的静电电位在线监测装置及其配套夹具，专门设计了监测装置和整个系统的测试方法。测试结果表明，该方案实现了静电电位连续监测、限值报警和记录可追溯，能够有效提高航天型号科研生产场所的静电防护在线计量保障能力。

静电电位 在线监测 接触式测量 EPA 可追溯

AbstractHuman body electrostatic discharge is one of the main hazardous factors in the field of electrostatic discharge protection engineering.According to the contact measurement for electrostatic potential，this paper puts forward a online monitor system based on RS485 bus for human body electrostatic potential，develops one type of anti-static wrist strap and its fixture used in EPA（Electrostatic discharge Protection Area） operation，and designs the specialized measurement method for device and the whole system.The test results shows that the design realizes electrostatic continuous measurement，limit alarming and record traceability，and helps strengthen the ability of electrostatic protection and online measurement in aerospace industry workshop.

Key wordsElectrostatic potentialOnline monitor Contact measurementEPA Traceability

1 引言

随着电子技术的不断发展，电子产品逐渐呈现出越来越轻、薄、短、小、集成度高的趋势，同时MOS电路、贴装器件、微波器件、集成电路等静电敏感器件的大量使用，元器件的静电敏感电压越来越低，电子产品抗静电能力越来越差，越来越容易受到静电损伤。静电损伤已经成为影响电子产品质量稳定性和成品率的重要因素之一[1]。

人体静电是静电防护工程中主要危害源之一。人体与各种物体发生接触—分离时，常常会带上几千伏甚至上万伏的静电，在防静电工作区（Electrostatic Protection Area，EPA）等场所，人体作为带电的静电导体，一旦形成高压、瞬态大电流并伴随强电磁辐射时，容易对电子元器件、弹药、武器装备等静电敏感物质造成严重危害[2]。……