激光干涉测量专利申请浅析

黄莉

摘 要：本文介绍了激光干涉测量常见的应用，分析了本领域利用激光干涉原理测量长度、厚度、物体表面轮廓面貌的专利申请情况。通过对激光干涉测量领域专利的不同年份、不同国家、不同申请人的数据统计，分析了激光干涉测量领域技术的发展状况和专利申请情况。

关键词：激光干涉；测量；专利申请

DOI：10.16640/j.cnki.37-1222/t.2017.15.260

1 引言

干涉测量应用范围十分广泛，可用于位移、长度、角度、面形、介质折射率的变化及振动等方面的测量。在测量技术中，常用的干涉仪有迈克尔逊干涉仪、马赫-泽德干涉仪、菲索干涉仪、泰曼-格林干涉仪等[1]；70年代以后，抗环境干扰的外差干涉仪（交流干涉仪）发展迅速，如双频激光干涉仪等；近年来，光纤干涉仪的出现使干涉仪结构更加简单、紧凑，干涉仪性能也更加稳定[2]。

2 激光干涉测量技术的专利申请状况分析

2.1 激光干涉测量技术的专利申请量

激光干涉测量技术在光学测量领域的专利申请最早出现在1964年，从图2.1可以看出，在1960年以前，激光干涉技术专利申请量为零；在1975到1995年期间，激光干涉测量技术的专利申请逐渐稳步上升，但是上升幅度较小，每年的专利申请数量小于100件；在2000年到2001年激光干涉测量技术的专利申请量有了较大的提高，此时激光干涉测量技术已经形成了各种先进的激光干涉测量仪，应用范围进一步扩宽；2001后，激光干涉测量技术在精度和灵敏度上进一步发展，甚至在光学薄膜厚度测试方面，用干涉法测厚的精度可以达到0.01nm，测量角度，分辨力可达0.05''以上，测量面形分辨力可达1/100λ，测量光学零件曲率半径，分辨力可达1um；此后每一年的激光干涉测量技术的专利申请数据都在200件以上并保持稳步上升的趋势，专利申请数量保持较高的申请量。

2.2 激光干涉测量技术的专利申请国家分布

激光干涉测量技术最早是在欧美国家研发，在最终是由日本的学者将该技术扩宽到各个领域中，激光干涉测量技术在日本得到了更深入的研究和发展，随后，中国的学者也开始将激光干涉测量技术加入研究的技术领域；激光干涉测量技术在日本的专利申请量最多，与美国和中国的激光干涉测量专利申请数量有较大差额，美国激光干涉测量专利位于第二，中国紧随其后。

2.3 激光干涉测量技术的专利申请人分布

激光干涉技术在测量领域的专利申请的申请人中，大部分都来自高校，其次是公司申请，来自研究所的申请也占了较大部分；PCT申请的占有率最少，从侧面反映出了，激光干涉测量技术属于一门研究型的技术，是一门高科技学科；在高校申请中，清华大学的激光干涉测量专利申请量最多，其次是天津大学的激光干涉测量专利申请；在公司申请中，上海微电子装备有限公司的激光干涉测量专利申请量最多；而在各研究所的激光干涉测量专利申请量中，没有特别突出的；这也反应了，在激光干涉测量技术研究中，清华大学和天津大学的研究较为靠前，而在激光干涉测量技术的应用中，上海微电子装备有限公司占据市场较大份额。

3 總结

本文针对激光干涉测量技术的专利申请情况，根据激光干涉测量技术的起源和发展历程，分析了激光干涉测量技术的专利申请情况，对激光干涉测量技术在不同的光学测量领域的专利申请情况，通过数据分析了激光干涉测量技术在不同国家地区的专利申请情况，了解了该项技术在不同国家之间的发展情况和该项技术在我国的发展情况。

参考文献：

[1]段小艳，任冬梅.激光干涉法微位移测量技术综述[J].计测技术，2012，32（06）：1-13.

[2]于航，陆冰睿等.激光干涉光刻工艺开发与应用研究[J].传感器与微系统，2013，32（50）：9-12.endprint