单晶PERC电池片AL2O3钝化层划痕的解决方法

康冬妮

摘 要：电池片背面钝化层沉积工序，面临着划痕对AL2O3钝化层损伤的困扰，对电池片转换效率的提高产生了不良影响。分析产生划痕的主要因素，通过试验加以工艺验证，最后提出解决划痕的有效办法。

关键词：背面钝化层沉积；机器人抓取；划痕；运动轨迹

引言

电池片背面钝化层沉积，是单晶PERC生产线的一道工序，即钝化发射极背面接触，利用AL2O3在电池背面形成钝化层，与SINXHY薄膜的氢钝化效应，将硅片的有效载流子寿命由10-20微秒提高到100-200微秒，可以极大地提升电池片的内量子效率，实现单晶电池片转换效率的提高。在电池片生产过程中，存在某些因素极易对AL2O3钝化层造成划痕，如图1所示，导致电池片质量难以保证，因此划痕的解决变得迫在眉睫。

造成AL2O3钝化层划痕的因素主要有两大方面。第一，背面钝化层沉积自身工序产生的划痕：吸盘将钝化层沉积工艺完成的硅片吸取后放置传输皮带上，吸盘吸取的过程中会造成划痕；硅片经传输机构传送至花篮中时，会因为跟花篮托齿摩擦造成划痕；硅片在传输过程中，会因为卡片、碎片等造成划痕。第二，后道工序自动化设备对AL2O3钝化层造成的划痕。本文将从第二方面分析造成AL2O3钝化层划痕的几大因素，并通过试验找出解决划痕的具体办法。

背面钝化层沉积工序之后，是等离子化学气相沉积（PECVD）工序，在PECVD工序使用的自动化设备是全自动石墨舟上下料机，由我们自主研发设计的该种设备，已经在电池片生产线上实现稳定生产。……