洁净厂房的检测分析

龙晓凯

摘 要：笔者参照液晶显示器面板制造洁净厂房的实际特征，针对高空间、大面积以及FFU数量巨大的电子工业洁净室工程性能参数的实际检测方式进行了相应的分析和探究，通过数据检测的方式来完成实验任务，经过论证、实验和对比分析之后，对洁净厂房的检测方式进行了分析，同时可以提高工作效率，保证检测质量，缩短检测时间，促使最终的检测结果更具精准度。

关键词：洁净厂房；检测；分析

DOI：10.16640/j.cnki.37-1222/t.2017.21.219

自从进入到二十一世纪以来，我国的科学技术发展水平就在不断提提高，随之而来电子工业的发展脚步也随之加快，集成电路芯片制造以及液晶显示面板制造生产厂家的运作和发展也趋于成熟，高世代的TFT-LCD生产线中涵盖着8.5代生产线国内已经有数十条生产线正在处于建设过程中，特别是12英寸的晶圆生产线有多条已经建成，同时投入到生产之中，正式因為产品生产工艺的实际特征，导致这类的生产用洁净厂房的实际需求度是极高的，此时，就需要对厂房的洁净程度予以全方面的检测，笔者基于此问题进行了分析和归纳。

1 对于洁净厂房检测参数和技术指标的分析

电子工业洁净厂房环境参数可以直接给产品的良品率带来极大的影响，确保洁净室之内动态环境下和静态环境下的每一项餐参数都应当符合设计的内容需要，通常情况下，电子洁净厂房对于各类参数的要求都是极为严格的，比如，对于排气量、新……