应用于柔性电子领域的激光剥离技术进展

黄　御，梁　勖，朱能伟，潘　宁，林　颖，方晓东,

(1.中国科学技术大学 环境科学与光电技术学院，合肥 230029；2.中国科学院 合肥物质科学研究院，合肥 230031)

引　言

近年来，柔性电子器件因其轻薄、耐冲击、可卷曲等特点被越来越多的人关注[1]，在信息、能源、医疗、安全等领域具有非常广泛和良好的应用前景[2]，但是柔性电子器件因为衬底耐温等问题不能直接使用传统工艺制作，需要将电子器件制作在临时载体上然后剥离下来并转移到柔性衬底上[3]。随着激光技术的发展，激光剥离(laser lift-off，LLO)技术已经成为制作柔性电子器件(柔性显示器、柔性存储器、柔性能源、柔性传感器等)最重要的技术之一。其主要原理是将紫外准分子激光器的输出光束整形成线光束，然后透过玻璃基板载体，照射在聚合物层上，由于准分子激光的波长很短，聚合物层材料对激光的吸收率很高，只有紧邻玻璃基板的聚合物被蒸发，从而实现了基板与器件的分离[4]。

1　柔性显示器中的激光剥离

柔性面板显示器具有诸如薄、轻、不可破坏和可弯曲特性等优点[4]，来自国际权威机构的最新市场研究报告预计，到2027年，全球印刷和柔性电子市场规模将达到3300亿美金，其中柔性显示屏将作为主要的细分市场，预计到2024年，出货量会实现43.7%的复合增长率[5]。

目前，市场上的柔性显示器主要有液晶显示器(liquid crystal display，LCD)、电子墨水和有机发光二极管(organic light-emitting diode，OLED)[6]。由于LCD面板的制作工艺需要进行真空蒸镀与刻蚀，所以基板需要耐高温和强酸碱的腐蚀，因此塑料并不适合作为LCD基板，玻璃基板仍然是最佳选择。……