浅析微电子器件静电损伤的测试

摘 要：随着现代科学技术的发展，电子、通讯等高新技术产业也在迅速崛起，电子仪器和电子设备正在朝着小型化、智能化、多功能化方面发展，而微电子器件成为当下电子产品实现小型化、智能化、多功能的必要原件。这种微电子器件具有外部结构简单、集成度高、功率低的特点，这些特点导致了这种微电子器件对静电比较敏感。本文立足于微电子器件特征和静电放电特点，通过实验分析出静电放电对微电子器件的影响，并提出相应的防护措施。

关键词：微电子器件；静电损伤；放电模型

中图分类号：TN406 文献标识码：A 文章编号：2096-4706（2018）08-0066-03

Abstract：With the development of modern science and technology，the high and new technology industries such as electronic and communication are rising rapidly. Electronic instruments and electronic equipment are developing towards miniaturization，intellectualization and multi-function. Microelectronic devices have become the necessary original parts for the realization of the miniaturization，intellectualization and multi-function of electronic products. This kind of microelectronic device has the characteristic of simple external structure，high integration and low power. These characteristics make the microelectronic devices more sensitive to static electricity. In this paper，based on the characteristics of microelectronic devices and the characteristics of electrostatic discharge，the effects of electrostatic discharge on microelectronic devices are analyzed by experiments，and the corresponding protective measures are put forward.

Keywords：microelectronic devices；electrostatic damage；discharge model

0 引 言

微電子器件业内称之为静电敏感器件，一般而言，场效应器件、双极器件等微电子器件的抗静电能力更加弱，人体或者器件本身的静电都足以对器件造成损伤，如果不加以防护，微电子器件很可能因为静电受损，导致器件失去本身的功能，影响了产品的质量。因此，提高微电子器件在包装、运输、储存、使用等方面的防静电措施至关重要。

1 静电放电特性

1.1 静电放电类型

静电放电（ESD）在本质上是一种电磁兼容问题，通常情况下，静电放电所释放的能量比较小，是一种常温状态下对气体的击穿现象。从静电放电类型上进行分析，可大致分为三种不同类型：（1）电晕放电，这是一种气体放电的形式，多发生在电极相距比较远，同时带电物体和接地表面有突出的地方。这种地方易形成较强的电场强度，使气体发生电离现象，并伴有“嘶嘶”声音，这种情况称之为电晕放电。……