微电子器件的可靠性分析

杨丹凤 湖南省长沙市第一中学

当今世界经济得到飞速发展，经济的发展带动了科技的创新，随着科技水平的提高，电子信息技术处理的效率也得到了提高，微电子器件的体积越来越小，微电子器件的可靠性问题已经成为了这种技术的主要问题，微电子器件的可靠性受到严重的影响。影响的因素一般分为以下几种，栅氧化层、热载流子、金属化、静电放电等。目前人们认识到了微电子技术的重要性，国家加大了对微电子技术资金和技术的投入力度，在微电子技术的研究方面，我国与发达国家的差距正在逐渐缩小，但是在一些主要的技术研究领域还有待提高。

1 影响微电子器件可靠性的主要因素

1.1 热载流子效应

电路中主要失效模式的一种就是热载流子效应，热载流子会导致微电子器件可靠性出现问题，这一问题是在超大规模的电路中存在的，由于栅氧化层厚度、结构、长度在不断的减少，而漏端电子的强度在不断的增强，于是就会产生可靠性问题。

因为热载流子的应用，这样就改变了器件氧化层中的电荷分布情况，长此以往，器件的性能就会发生改变，逐渐影响器件的使用寿命。热载流子的应用还会影响集成电路的集成度和电路的可靠性。如果电压是稳定的，栅电流就会随着时间的增加而减少。

1.2 金属化电转移

电转移是一种物理现象，在电流很大的状况下，金属原子就会发生扩散转移，电流的流动方向正好与电子转移的方向一样。……